?真空鍍膜冷水機(jī)是一種為真空鍍膜設(shè)備提供恒溫、恒流、恒壓冷卻水的設(shè)備,在真空鍍膜過程中起著關(guān)鍵作用。以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹:
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工作原理
在冷水機(jī)的水箱中注入一定量的水,通過制冷系統(tǒng)對水進(jìn)行冷卻,再由水泵將低溫冷卻水送至待冷卻的真空鍍膜設(shè)備。冷凍水帶走設(shè)備產(chǎn)生的熱量后溫度升高,然后再流回水箱,如此循環(huán)往復(fù),達(dá)到冷卻的效果。
核心功能
靶材冷卻:在物理氣相沉積(PVD)的濺射或蒸發(fā)過程中,靶材因高能離子轟擊會產(chǎn)生數(shù)百攝氏度的高溫,冷水機(jī)通過循環(huán)冷卻水快速帶走熱量,防止靶材變形或燒蝕,確保濺射速率穩(wěn)定。在化學(xué)氣相沉積(CVD)中,也可通過間接冷卻維持靶材溫度均勻,保障化學(xué)反應(yīng)的均勻性。
腔體與基板冷卻:鍍膜腔體在工藝過程中會因等離子體或高溫氣體產(chǎn)生熱量,冷水機(jī)通過腔體夾層水冷系統(tǒng)散熱,避免腔體熱膨脹導(dǎo)致密封失效。同時,基板在鍍膜時需保持低溫,如低于 50℃,冷水機(jī)通過冷卻基板臺防止材料熱變形,提升膜層附著力。
真空泵與電源冷卻:真空系統(tǒng)運(yùn)行時,真空泵如分子泵、擴(kuò)散泵會產(chǎn)生高溫,冷水機(jī)冷卻泵體和潤滑油,維持真空度穩(wěn)定并延長泵體壽命。對于大功率的電源模塊,如磁控電源、射頻電源,冷水機(jī)通過板式換熱器快速降溫,防止電源過熱停機(jī)。